Diyarbakır\’ın İslam Ordularınca fethinden sonra, şehirdeki en büyük kilise olan Mar-Tama\’nın 639 yılında camiye çeverilmesiyle olmuştur.1091 yılında Selçuklu Sultanı Melikşah tarafından tamir ettirilmiştir. 1115 te meydana gelen deprem ve yangında büyük zarar gören cami halkın yardımıyla 1240 yılında onarılmıştır. Anadolu\’nun en eski camisi olan Ulu Cami kitabeleriyle de büyük önem taşımaktadır.